對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。
為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應(yīng)該對化學(xué)管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。
氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：原子能工業(yè)——?dú)怏w擴(kuò)散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；
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